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真空ポンプ

㈱三津海製作所

ＭＰ－７D　ピストン式真空ポンプ
ＭＰ－７D　ピストン式真空ポンプ

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特長※2018年新製品

●独自開発のインナーローター形両軸モーターを開発
省エネ、高効率、またドライバー一体構造で取扱が容易

●モーターと真空ポンプを一体構造で軽量化を実現
実績あるＭＰ－３ＮＰを基準モデル

●特殊ピストン材を開発

●ダブルヘットでスムーズな運転

●並列仕様で、排気速度がＭＰ－３ＮＰの２倍
用途●医療用・理化学・分析計・真空乾燥・真空脱気・ロボット等用途は多彩

●ＯＥＭを始め、試作開発を推進。台数によりＤＣ１２Ｖも対応可能
スペック●質量：７５０ｇ
●到達真空度：－０．０８２MPa以上
●常用真空度：－０．０８２MＰａ以上
●排気速度：６．５ ℓ／min以上
●電圧：DC24Vを標準用意、
●電流値：１．４Ａ 以下（実測１．０Ａ以下）
●連続運転可能
●サイズ：８２×９９×８７Ｈ（継ぎ手除く）

エドワーズ株式会社

小型ロータリーポンプ
小型ロータリーポンプ

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特長1.加圧給油方式を採用しており、大気から高真空までの運転がスムーズです。
また、高真空はもちろん高い圧力でも連続運転が可能となります。
2.停電時などの突然停止時にもオイルの逆流を完全に防止し、システム側を真空状態に保ちます。
3.精密加工と特殊給油方式により、振動・ノイズが極めて低く、48dB程度。
用途・滅菌、蒸留、遠心分離、溶剤濃縮
・凍結乾燥、真空冶金
・エポキシ脱ガス、粉末素材処理
・各種分析装置、一般排気　など
仕様排気速度：16～550L/min
接続　　：NW10、NW25
電源　　：単相 100V / 単相 200V
消費電力：0.09～0.9kW

エドワーズ株式会社

中大型ロータリーポンプ
中大型ロータリーポンプ

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特長1.エドワーズ社製中大型ロータリーポンプは堅牢設計により高い信頼性を得ております。
2.アクセサリーを用いることで、広範なアプリケーションに対応可能です。
（※詳しくは、お問い合わせ下さい）
用途・滅菌、蒸留、遠心分離、溶剤濃縮
・凍結乾燥、真空冶金
・エポキシ脱ガス、粉末素材処理
・薄膜コーティング
・宇宙シュミレーション　など
仕様排気速度：733～5100L/min
吸気側接続：ISO40、ISO63
排気側接続：NW25、ISO40
モータ定格：1.5～8.5kW

エドワーズ株式会社

ドライポンプ
ドライポンプ

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特長1.コントロールパネル搭載により、リモート/ローカル/ON_OFF/アラーム・ワーニングを表示
2.独自のスクリューロータ採用により、高い信頼性と優れた排気速度
3.高効率インバーターモータ採用により、消費電力量の低減
4.低振動、低騒音（64dB以下）
5.通信機能（オプション）
用途・ソーラープロセス（結晶成長、ラミネータ）
・凍結乾燥装置（医薬品製造、食品乾燥）
・コーティングプロセス（ガラスコーティング、ロール）
・冶金工業（熱処理、真空鋳造、浸炭）
・真空包装、高純度ガス充填、その他真空プロセス
仕様最大排気速度：2666～32000L/min
到達圧力：1Pa、0.1Pa
最大出力：5.8～8.5kW

エドワーズ株式会社

メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ

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特長1.ハイドロカイネチックドライブ採用により背圧ポンプと同時に起動し、大気から排気が可能。排気時間は非大気駆動型の1/2。
2.弊社ロータリーポンプE2Mシリーズとのシステム購入が可能
3.吸気の負荷量に応じてポンプ自体の回転数が変動することで、モータにかかる負荷を軽減します。
用途・滅菌、蒸留、遠心分離、溶剤濃縮
・凍結乾燥、真空冶金
・エポキシ脱ガス、粉末素材処理
・薄膜コーティング
・宇宙シュミレーション　など
仕様最大排気速度：375～4985m3/h
モーター定格：2.2～11kW

日本エリコンライボルト株式会社

一段式油回転ポンプ　SOGEVACシリーズ
一段式油回転ポンプ　SOGEVACシリーズ

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特長あらゆる動作条件下でも静かで一定の低騒音レベル、低振動で安定したシステム運転を実現しました。
用途真空包装機、真空プロセス、脱ガス、脱気、凍結乾燥、含浸、リークテスト、他

日本エリコンライボルト株式会社

ロータリーベーン油回転真空ポンプ　TRIVAC Ｂシリーズ
ロータリーベーン油回転真空ポンプ　TRIVAC Ｂシリーズ

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特長環境に優しい、低騒音、低振動
省エネ
用途真空コーティング、自動車産業、環境工学、電気工学、機械工学、凍結乾燥システム、工進ポンプ、その他

日本エリコンライボルト株式会社

ルーツポンプ
ルーツポンプ

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用途太陽電池製造工程、真空工業炉、一般工業薄膜プロセス、宇宙シミュレーション、その他

株式会社鶴見製作所

モータ一体型　液封式真空ポンプ　VD型
モータ一体型　液封式真空ポンプ　VD型

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特長1.モータ体型の為、軽量・コンパクト。
従来のカップリング部分がなくなったことにより、大幅なコンパクト化を実現。
扱いやすさが向上し、さまざまな機器の組み込みが可能になりました。
2.耐久性・メンテナンス性が向上。
軸封部には、メカニカルシールを採用することにより、耐久性が向上しました。
また、一方向のみでの分解・点検となるため、メンテナンス性が向上しました。
3.高効率・低騒音
吐出し口の一部にボールバルブ機構を採用することで、高真空域でも安定した運転を実現。
全域で高効率で低騒音な運転を実現しました。
用途●真空脱水に
●真空乾燥に
●呼び水用として
●病院での各種吸引に
●その他各種真空源として
口径20mm～40mm
材質FC200製、SCS13製、SCS14製
出力0.4kW～5.5kW

株式会社鶴見製作所

液封式真空ポンプ　V型（旧型式：SONIT-V型）
液封式真空ポンプ　V型（旧型式：SONIT-V型）

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特長1.液封式のため潤滑油を必要とせず、磨耗の進行がありません。
2.封液が内部漏れを防止しますから、回転部と静止部の隙間を大きく取れます。
3.封液がピストンの代わりをしますので、吸込気体に液滴が混入しても性能に影響がありません。
4.回転式なので小型に設計ができ、振動も小さく吐出し側においても脈動流を生じません。
5.1回転1作動式にボールバルブを装着しており、高真空域でも安定した運転を実現します。
6.低騒音・低振動の特性を有しています。
用途●真空脱水
●真空乾燥
●蒸留・濃縮
●冷却・脱水
●真空輸送・吸着搬送
●化学工業における各種フィルタ
●パルプ・製紙工業における抄紙機用
●製鉄業・電力業における排煙脱硫装置用
●その他の真空源として
口径40mm～100mm
出力5.5kW～22kW

株式会社鶴見製作所

液封式真空ポンプ　VM・VMW型（旧型式：EVM型）
液封式真空ポンプ　VM・VMW型（旧型式：EVM型）

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特長液封式ポンプの特長に加え、一作動形の利点を持つ真空ポンプです。(VM型)
液封式ポンプの特長に加え、一作動形の利点を持つ一軸二段式真空ポンプです。(VMW型)


●液封式のため、潤滑油を必要とせず金属接触による摩耗の進行がありません。吸込気体に液滴が混入しても性能に影響がなく、また単純な構造であり、故障が少なく運転・保守が容易です。
●VMW型二段ポンプと一部部品を共用したポンプです。低騒音で低振動の特性を持っています。（VM型）
●一軸に2枚の羽根車を装着しており、直列二段圧縮により高真空高圧縮比を実現しました。低騒音で低振動の特性を持っています。 (VMW型）
用途1.脱水・乾燥
2.蒸留・濃縮
3.冷却・脱臭
4.各種呼び水
5.真空輸送、吸着搬送
6.その他の真空源として
口径32mm～100mm
出力1.5kW～45kW

神港精機株式会社

水封式真空ポンプ　SW型／オールステンレス製水封式真空ポンプ　SW-AS型
水封式真空ポンプ　SW型／オールステンレス製水封式真空ポンプ　SW-AS型

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特長水封式真空ポンプ　SW型
水封式ですので水蒸気や水滴を含んだ気体の排気に最適です。また、2段式ポンプのため、3×10 4Pa以下の低圧で高性能を発揮します。わずらわしいメンテナンスがほとんど不要ですので、安心してご使用いただけます。

オールステンレス製水封式真空ポンプ　SW-AS型
化学工業などでの腐食性ガスを吸引するプロセス向けに開発した水封式ポンプです。吸引ガスに対しても材質の変化が少なく性能も安定し、かつ優れた耐蝕性を有したポンプで、耐用年数が長いのが特徴です。
ハステロイ製水封式真空ポンプもラインアップしました。（SW-HM型）
口径25～80mm
出力1.5～30kW

神港精機株式会社

揺動ピストン式油回転真空ポンプ　SR-B型
揺動ピストン式油回転真空ポンプ　SR-B型

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特長大きな耐久力、抜群の経済性で精密産業分野から、食品、医療品分野まであらゆる真空ニーズに幅広く答える神港精機の油回転真空ポンプです。排気特性が優れており、コンパクトで振動が小さく、保守も容易にできる様設計されています。
口径50～160mm
出力2.2～22kW

神港精機株式会社

メカニカルブースターポンプ　SMB型
メカニカルブースターポンプ　SMB型

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特長・排気特性がたいへん優れています。
・操作が簡単で、保守も容易です。
・長寿命です。
・コンパクトで、低振動です。
・クリーンな真空が得られます。
・安全な横形を採用しています。
口径VG80～VG200
出力1.5～7.5kW

神港精機株式会社

ドライ真空ポンプ　SST型
ドライ真空ポンプ　SST型

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特長多彩なアクセサリーにより幅広い用途に対応する万能ポンプです
過酷な特殊環境下でも安定した運転を確保
設置場所でメンテナンスができるシンプル構造
吸引したプロセスガスの回収や再生が可能
口径VG50～VG80
出力3.7～7.5kW

佐藤真空株式会社

直結型油回転真空ポンプ　NEW DIGNITYシリーズ[Λラムダ]
直結型油回転真空ポンプ　NEW DIGNITYシリーズ[Λラムダ]

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特長2段ローター型の圧縮方式を採用した、ゲーデ式の回転翼型油回転真空ポンプです。高回転で運転 されるモーター直結型ですので、ベルト駆動型に比べよりコンパクトで大きな排気速度が得られます。 このラムダシリーズは、新たな設計思想に基づき、排気特性・運転音・振動などの基本性能をリ ニューアルし、さらに大型油面計・脱着式ハッチ・オイルドレンコックの採用など、お客様の使い勝手 にも配慮した新シリーズです。
用途[理化学機器工業]表面・質量分析器、電子顕微鏡、公害測定機器、各種研究開発機器

[電気・電子工業] 電子管・ブラウン管・リレー・基板・半導体・フラットパネル製造装置
脱ガス/ ベーキング/ 乾燥/ 蒸着/ スパッタリング/ 脱泡充填

[食品工業] 真空蒸留/ 濃縮/ 脱気、真空( 凍結) 乾燥、真空パッケージ

[化学・医薬品]油脂・石油・可塑剤の蒸留、脱ガス、脱臭、脱水、医薬品の凍結乾燥

[エネルギー] マンガン、リチウム二次イオンなど各種電池の脱ガス、乾燥、含浸

[光学工業] レンズ・鏡・半透鏡製造装置、コーティング/ スパッタリング

[産業機械] 樹脂の注型、成型、脱泡、含浸、充填、真空排気装置(ターボ、拡散、メカブ)のバックポンプ
出力200W～2200W

佐藤真空株式会社

ベルト駆動型油回転真空ポンプ　USW型
ベルト駆動型油回転真空ポンプ　USW型

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特長このベルト駆動型油回転真空ポンプは、当社創業時から製造しているシリーズであり、使いやすさ等お客様の立場に立った改良を加えながら、現在も当社主力ポンプの一翼を担っている信頼性の高いポンプです。異径プーリーによりポンプ回転数は600min-1としており、油量も直結型に比べ多く設定しているため、丈夫で長持ちとの定評を得ております。 また、排気速度は20～1500L/minまでの9アイテム、圧縮方式はシングル／ダブルの2タイプ、スタイルはU/T/B/Pの4タイプと、バラエティーに富んだ機種を擁し、様々な用途・環境に対応可能なシリーズとなっております。
さらに、ベルト駆動方式の特長として、ポンプ本体部がモーターなど他の構成部品から独立したユニットとなっている点が挙げられます。これにより、修理などでポンプ内部部品の消耗・劣化が著しい場合でも、モーター・架台など使用可能な部品を活かし、ポンプ本体部のみを交換するという形での修理対応が可能となっております。
用途[理化学機器工業]表面・質量分析器、電子顕微鏡、公害測定機器、真空( 凍結) 乾燥、各種研究開発機器

[電気・電子工業] 電子管・ブラウン管・リレー・基板・半導体・フラットパネル製造装置 脱ガス／ベーキング／乾燥／蒸着／スパッタリング／脱泡充填

[食品工業] 真空蒸留／濃縮／脱気、真空( 凍結) 乾燥、真空パッケージ

[化学・医薬品]油脂・石油・可塑剤の蒸留、脱ガス、脱臭、脱水、医薬品の凍結乾燥

[エネルギー] マンガン、リチウム二次イオンなど各種電池の脱ガス、乾燥、含浸
出力65W～2200W

佐藤真空株式会社

オイルクリーナー
オイルクリーナー

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特長1.オイルの汚れが原因となる真空ポンプのトラブル防止
強力な水分凝集作用によりエマルジョン化した油から水分を分離除去し、粉体やゴミを捕集します。オイル の水分濃度を100ppm程度にすることが可能で、これによりオイルの劣化が防止され、回転不良の原因となるスラッジの生成が抑制されます。ただし、油の酸化は徐々に進行しますので定期的なオイル交換も必要です。

2.水分により劣化した到達圧力の回復
水分の混入した真空ポンプは真空度が著しく劣化します。例えば通常の真空ポンプでは10-1Pa以下の到達圧力が、水分の吸引により103Pa位まで劣化する場合があります。ラボマスター/ハイパークリーンは到達圧力劣化の原因となる水分を除去し、到達圧力を回復させます。

3.ランニングコストの削減
オイル中から水分やゴミを除去しますので、オイル交換のサイクルを延ばすことができます。

4.オイル交換の手間を軽減
付属の循環ポンプで、排油と給油がスムーズにおこなえます。

5.どのメーカーの真空ポンプにも取付可能
ラボマスター/ハイパークリーン共に、どのメーカーの油回転真空ポンプにも取付け可能です。ご注文の際は真空ポンプのメーカー名、形式および給油口/排油口のネジ径をお知らせください。

株式会社アンレット

ルーツ式真空ポンプ　ドライシリーズ　FT4-LE(空冷式)・CT4-LE(水冷式)
ルーツ式真空ポンプ　ドライシリーズ　FT4-LE(空冷式)・CT4-LE(水冷式)

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特長1.エンドレスケーシングで高効率・低騒音です。
2.分割ケーシングのため分解及び内部点検が容易です。
3.ロータとシャフトが一体形の三葉ルーツ式ロータのため低騒音・低振動です。
4.内部潤滑剤を使用しないため高真空側への油の逆流がなく、キレイな真空が得られます。
5.吐出側にオイルミストの飛散がなく、作業環境及び作業者の健康を守ります。
6.大気圧からの運転可能で、広い圧力範囲にわたり性能が安定しています。（締切運転可能です。）
7.摩耗がないため長期連続運転でき、維持管理も簡単です。
8.凝縮性気体のドレン回収も可能です。
9.構造が簡単で、持久力が抜群です。
10.軸封はドライシール方式です。
口径25A～80A
出力1.5kW～15kW（CT4型）
1.5kW～11kW（FT4型）

株式会社アンレット

ルーツ式真空ポンプ　ドライシリーズ　CT-3型(水冷式)・FT3-L型(空冷式)
ルーツ式真空ポンプ　ドライシリーズ　CT-3型(水冷式)・FT3-L型(空冷式)

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特長1.エンドレスケーシングで高効率・低騒音です。
2.分割ケーシングのため分解及び内部点検が容易です。
3.ロータとシャフトが一体形の三葉ルーツ式ロータのため低騒音・低振動です。
4.内部潤滑剤を使用しないため高真空側への油の逆流がなく、キレイな真空が得られます。
5.吐出側にオイルミストの飛散がなく、作業環境及び作業者の健康を守ります。
6.大気圧からの運転可能で、広い圧力範囲にわたり性能が安定しています。（締切運転可能です。）
7.摩耗がないため長期連続運転でき、維持管理も簡単です。
8.凝縮性気体のドレン回収も可能です。
9.構造が簡単で、持久力が抜群です。
10.軸封はドライシール方式です。
口径40Ax25A～100Ax65A（CT3型）
40Ax25A～80Ax65A（FT3-L型）
出力2.2kW～22kW（CT3型）
2.2kW～15kW（FT3-L型）

株式会社　三津海製作所　（みつみせいさくしょ）

ピストン式　真空ポンプ　＆　コンプレッサー　MP-30D
ピストン式　真空ポンプ　＆　コンプレッサー　MP-30D

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特長●流量：30～40L/分で、使い勝手良好
●従来機種と比較して、更に「省エネ・小型・軽量」を実現
　→消費電力40%削減　＋　20%の小型・軽量
●オイルレス運転可能な、無給油ポンプ
●ブラシレスタイプは、直ぐにメンテ出来る様、ドライバーが付属
用途省スペースが求められる…

●分析装置

●医療機器

等に最適です
仕様●型式：
　真空ポンプ仕様=MP-30D-V
　コンプレッサー仕様=MP-30D-C

●排気速度：
　50Hz=35L/min以上
　60Hz=40L/min以上

●電圧：単相100V/200V

●真空ポンプ到達真空度:-0.08MPa以上 680mmHg

●コンプレッサー最高圧力：0.6MPa以上

●重量：約6kg

●使用環境（室内温度）：0～40℃

●RoHs対応

●サーマルプロテクタ（焼付保護防止装置）内蔵