液封式真空ポンプV型（旧型式：SONIT-V型）

1.液封式のため潤滑油を必要とせず,磨耗の進行がありません。
2.封液が内部漏れを防止しますから,回転部と静止部の隙間を大きく取れます。
3.封液がピストンの代わりをしますので,吸込気体に液滴が混入しても性能に影響がありません。
4.回転式なので小型に設計ができ,振動も小さく吐出し側においても脈動流を生じません。
5.1回転1作動式にボールバルブを装着しており,高真空域でも安定した運転を実現します。
6.低騒音・低振動の特性を有しています。

●口径：40mm～100mm
●出力：5.5kW～22kW